萬業企業回復問詢函：集成電路前道裝備業務獲巨大突破

    本報記者 施露

    6月16日晚間，萬業企業就上交所年報問詢進行了回復，進一步說明公司向集成電路領域轉型的實施情況及產品進展等內容。公告顯示，國內一家重要的12英寸晶圓芯片制造廠與一家存儲器芯片設計制造廠已對萬業企業旗下凱世通集成電路離子注入設備啟動認證程序，萬業企業集成電路前道裝備業務獲得巨大突破。

    公告表示，鑒于目前國際形勢，芯片國產化需求日益迫切，在國內集成電路制造廠盡可能采購國內設備的背景下，凱世通的集成電路低能大束流離子注入機在國內市場的需求正逐步放大。凱世通客戶的上游企業（國內知名的芯片設計公司）、重要的12英寸晶圓芯片制造廠及存儲器芯片設計制造廠正在對凱世通設備進行認證，并盡快投入工廠端的測試驗證，助力凱世通盡快完成驗證工作。一旦驗證率先完成，將填補國內前道設備空白，為公司建立起更高的技術壁壘，提升公司行業競爭力，也將提升國內集成電路設備的國產化率，對國內集成電路產業戰略發展也將有遠大的意義。

    萬業企業表示，公司已明確凱世通以集成電路離子注入機為發展重心，對其在集成電路領域的銷售策略及生產安排也做了相應的優先調整，積極開拓其他業務合作伙伴，日前也已成功拓展臺灣主要前道設備供應商，取得離子注入平臺業務訂單。未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導體等不同應用領域芯片客戶提供離子注入工藝服務，協同國內集成電路產業穩步前行。

    此外，凱世通新一代iPV6000光伏離子注入機首臺設備已在公司組裝完成初步調試即產品下線，目前已進入驗證階段，在客戶工藝產線上進行調試，待設備在客戶生產端環境下滿足客戶產能和質量等多項指標后，便可完成。目前凱世通已與一家光伏行業頭部公司簽署了試用訂單，自主研發產品持續得到市場有效轉化。

    萬業企業通過全資并購凱世通成為國內唯一全領域離子注入機公司，產品覆蓋到集成電路、光伏和AMOLED領域等。據了解，凱世通專研的離子注入在芯片制造前道工藝中是不可或缺的工藝，并且研發出的低能大束流離子注入機更是半導體制造中最為核心設備之一，其開發難度僅次于光刻機，存在較高的行業競爭壁壘。因此，萬業企業在離子注入行業領域內具有絕對的領先優勢地位。

（編輯 才山丹）